طراحی و شبیه سازی شتاب سنج خازنی با تکنولوژی mems

پایان نامه
چکیده

در این پایان نامه یک شتاب سنج خازنی سه محوره با استفاده از تکنولوژی میکروماشین و تنها با یک جرم متحرک طراحی و شبیه سازی شده است. این شتاب سنج با استفاده از تکنولوژی میکروماشین کاری سطحی طراحی شده است. شتاب سنج پیشنهادی از پنج گروه خازنی تشکیل یافته است، دو گروه که در ربع اول و سوم مثلثاتی قرار دارند شتاب در جهت x را اندازه گیری می کنند و دو گروه دیگر که در ربع دوم و چهارم مثلثاتی قرار دارند برای اندازه گیری شتاب در جهت y استفاده شده است. همچنین از گروه خازنی پنجم برای اندازه گیری شتاب در جهت z استفاده می کنیم. که این تقسیم بندی باعث می شود شتاب اعمالی در یک جهت بر جهت دیگر تأثیر نگذارد. این طراحی به گونه ای می باشد که در جهات x و y از حالت دیفرانیسلی برای الکترودها و در جهت z از حالت غیر دیفرانسیلی استفاده کرده ایم. برای اندازه گیری شتاب در جهات x وyو z از الکترودهای خازنی با تغییر فاصله هوایی استفاده شده است. این شتاب سنج قابلیت تشخیص و اندازه گیری هم زمان شتاب اعمالی به سه محور را دارد و توسط یک مدار پردازشگر ساده نتایج خروجی شتاب سنج قابل تفکیک هستند. رنج اندازه گیری شتاب در هر سه جهت g 50 ± می باشد که میزان حساسیت (غیرخطی) در جهت x و y برابر ff/g 12 (8/2%) و در جهت z برابرff/g 20 (17%) بدست آمده است. سایز این شتاب سنجmm22/1 ×2/1 می باشد.

۱۵ صفحه ی اول

برای دانلود 15 صفحه اول باید عضویت طلایی داشته باشید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

طراحی و شبیه سازی شتاب سنج خازنی mems

بعد از آشنایی کافی در مورد ادوات mems به طور کامل انواع شتاب سنج ها را مورد بررسی قرار دادیم و پس از آن در مورد نوع پرکاربردتر شتاب سنج ها که همان شتاب سنج خازنی mems است به توضیح و تفسیر بیشتری پرداختیم و انواع مختلف آن را که تقسیم می شود به تک محوره، دو محوره و سه محوره به طور کامل تشریح کردیم و در مرحله بعد کاربرد شتاب سنج در خودرو را مورد بررسی قرار دادیم و طبق شتاب لازمه برای تشخیص تصادف خ...

15 صفحه اول

طراحی و شبیه سازی شتاب سنج حرارتی MEMS با حساسیت بهینه شده و قابلیت اندازه گیری شتاب در دو محور

در این مقاله، یک میکروحسگر شتاب با طرحی ساده، هزینه ساخت پائین، حجم و وزن کم و همچنین حساس به شتاب‌های بسیار کوچک با قابلیت اندازه‌گیری شتاب در دو محور طراحی شده است. در طرح پیشنهادی از روش حرارتی - همرفتی برای اندازه‌گیری شتاب استفاده شده است. این میکرو حسگر شامل یک المان گرم‌کننده (هیتر) و دو جفت حسگر دما (دیتکتور) می‌باشد. با اعمال شتاب در راستای محور X یا Y دمای دیتکتورها متناسب با شتاب اعم...

متن کامل

طراحی و شبیه سازی سنسور شتاب سنج رزنانس با تکنولوژی mems در محدوده 50g

در این پروژه ساختار جدیدی برای شتاب سنج رزنانس پیشنهاد و شبیه سازی شده است. اساس کار این شتاب سنج به این صورت است که شتاب اعمالی به جرم متحرک سبب اعمال نیرو به آن می شود. نیروی اعمالی به جرم متحرک از طریق دو نوع مکانیسم میکرواهرم تقویت شده و به نوسانگر منتقل می شود. نیروی اعمال شده به نوسانگرها با تغییر استرس اعمالی به آنها سبب تغییر فرکانس رزنانس آنها می شوند. بنابراین با توجه به تغییرات فرکان...

مدل سازی خطا و آنالیز دقت شتاب سنج میکروالکترومکانیکی mems

در این پایان نامه خطاهای یک شتاب سنج mems مورد بررسی قرار گرفته و مدل سازی شده اند. مدل پیشنهاد شده برای خطاهای سیستمی شتاب سنج شامل بایاس، ضریب مقیاس و ناهم محوری می باشد. تست های مناسبی برای دست یابی به پارامترهای مدل فوق طراحی و پیاده سازی شده است. همچنین تأثیر دما بر پارامترهای ذکر شده مورد بررسی قرار گرفته و مدل سازی خطاهای تصادفی با استفاده از تکنیک واریانس آلن صورت پذیرفته است.

منابع من

با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده

{@ msg_add @}


نوع سند: پایان نامه

وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه ارومیه - دانشکده فنی

میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com

copyright © 2015-2023